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J-GLOBAL ID:200903031777024033

気泡検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995001844
Publication number (International publication number):1996189903
Application date: Jan. 10, 1995
Publication date: Jul. 23, 1996
Summary:
【要約】【目的】 偏光フィルムなど透過性を有する被検査体に気泡が存在するか否かを、塵、傷とは区別して的確に検出すること。【構成】 被検査体の下方から光を被検査体に照射する第1の照明手段3と、被検査体の上方から光を被検査体に照射する第2の照明手段5と、被検査体を上方から撮像する撮像手段9と、撮像手段9が出力する映像信号を処理する画像処理手段11とを設け、被検査体を前記第1の照明手段3による照明状態で撮像手段9によって撮像し、その撮像データより所定の形状特徴量をもって塵、傷の存在を判定し、判定不明の場合には被検査体を第2の照明手段による照明状態で撮像手段9によって撮像し、その撮像データより所定の形状特徴量をもって気泡の存在を判定すること。
Claim (excerpt):
被検査体の下方から光を被検査体に照射する第1の照明手段と、被検査体の上方から光を被検査体に照射する第2の照明手段と、被検査体を上方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段が出力する映像信号を処理する画像処理手段とを設け、被検査体を前記第1の照明手段による照明状態で前記撮像手段によって撮像し、その撮像データより所定の形状特徴量をもって塵、傷の存在を判定し、判定不明の場合には被検査体を前記第2の照明手段による照明状態で前記撮像手段によって撮像し、その撮像データより所定の形状特徴量をもって気泡の存在を判定することを特徴とする気泡検査装置。
IPC (3):
G01N 21/89 ,  G01B 11/28 ,  G06T 7/00

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