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J-GLOBAL ID：200903031777262228

表面形状測定装置

Inventor： 藤井 透 ,  渡辺 俊二 ,  藤生 尚光
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994103656
Publication number (International publication number)：1995311208
Application date： May. 18, 1994
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 原子間力を検出してナノメータオーダで表面の形状を測定する装置例えばAFMにおいて、Q値の高いカンチレバーを有したノンコンタクトモードのAFMを提供する。【構成】 原子間力検出用探針付きカンチレバーを、カンチレバー上に形成された自己励振手段によりカンチレバーの共振周波数付近で振動させ、同時に光てこによりカンチレバーの振動状態の変化を検出し、これにより表面形状を測定する。

Claim (excerpt)：

原子間力を検出してナノメータオーダで表面の形状を測定する装置において、原子間力検出用探針付きカンチレバーを、カンチレバー上に形成された自己励振手段によりカンチレバーの共振周波数付近で振動させ、同時に光てこによりカンチレバーの振動状態の変化を検出し、これにより表面形状を測定することを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30