Pat
J-GLOBAL ID：200903031793335685
垂直針型プローブカード、その製造方法およびその不良プローブ針の交換方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997288356
Publication number (International publication number)：1999125646
Application date： Oct. 21, 1997
Publication date： May. 11, 1999
Summary：
【要約】【課題】 プローブ針の高さ方向のばらつきがある程度大きくても、必要な針圧が得られるように改良された垂直針型プローブカードを提供することを主要な目的とする。【解決手段】 プローブ針4の上方部分4aが上側ガイド板5により支持されている。プローブ針4の下方部分4cは、下側ガイド板6によって支持されている。プローブ針4の上方部分4aは、L字型に折曲げられている。上側ガイド板5の上に導電性ゴムシート20およびプリント配線基板7が設けられている。
Claim (excerpt)：
プローブ針の下方部分をICのパッドに垂直にコンタクトさせ、ICからの電気的信号をテスターに伝達させる垂直針型プローブカードであって、上方部分と前記下方部分と、これらを結ぶ中間部分とを有するプローブ針と、前記プローブ針の前記上方部分を貫通させて、該上方部分を支持する上側ガイド板と、前記上側ガイド板の下に設けられ、前記プローブ針の前記下方部分を貫通させて、該下方部分を支持する下側ガイド板と、前記上側ガイド板の上に設けられた導電性ゴムシートと、前記導電性ゴムシートの上に設けられたプリント配線基板と、前記導電性ゴムシート中に設けられ、前記プローブ針の前記上方部分と前記プリント配線基板とを電気的に接続し、ICからの電気的信号をテスターに伝達するための導通路と、を備えた垂直針型プローブカード。
IPC (2)：
FI (2)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
