Pat
J-GLOBAL ID：200903031802743627
水素化物ガス含有ガス中の酸素分析方法および装置
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991316282
Publication number (International publication number)：1993149842
Application date： Nov. 29, 1991
Publication date： Jun. 15, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】水素化物ガスを含有する窒素、アルゴン、水素などのガス中に含まれる酸素を0.01ppmレベルのような高精度で測定する。【構成】水素化物ガスを含有するガスを水素化物ガスに対して吸着能を有する吸着剤7と接触させた後、黄りん発光式、ガルバニックセル式などの高感度酸素分析計12に導いて酸素濃度を測定する。
Claim (excerpt)：
水素化物ガスを含有するガス中に含まれる酸素の分析方法において、試料ガスを水素化物ガスに対して吸着能力を有する吸着剤と接触させた後酸素分析計に導くことを特徴とする水素化物ガス含有ガス中の酸素分析方法。
IPC (6)：
G01N 1/22
, G01N 21/64
, G01N 21/76
, G01N 27/28
, G01N 27/404
, G01N 31/00
