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J-GLOBAL ID：200903031810772466

レーザ超音波欠陥検出装置

Inventor： 落合 誠 ,  佐藤 道雄 ,  渡部 和美 ,  須藤 亮
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 紋田 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996151925
Publication number (International publication number)：1997318603
Application date： May. 24, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 厚みの異なる被検査物1であっても超音波4により形成された凹凸Pが検出できるようにする。【解決手段】 超音波トランスジューサ3により超音波を被検査物1に照射して該被検査物1の表面に当該被検査物1の内部構造の情報を含む凹凸Pを形成する。そしてレーザ源5から出射されたレーザ光6aを凹凸Pに照射する。この際、被検査物1の厚みに依存して形成される凹凸Pの位置が変化するので、2軸ガルバノミラー17によりレーザ光6aの照射位置を調整する。その後、当該凹凸Pにより回折等された反射光6bが光検出器9で受光されるように、モータ41によりミラー40の位置又は反射角を調整する。これにより厚みの異なる被検査物1であっても当該被検査物1の内部に存在する欠陥等を容易に検出することが可能になる。

Claim (excerpt)：

超音波を被検査物に照射して、当該被検査物の内部構造の情報を反映した凹凸を該被検査物の表面に形成させる超音波照射手段と、被検査物にレーザ源から出射されたレーザ光を照射するレーザ照射手段と、被検査物の表面で反射したレーザ光を受光して電気信号に変換する反射光受光手段と、該反射光受光手段からの信号に基づき、被検査物の内部構造の情報を表示する信号処理手段とを有するレーザ超音波欠陥検出装置において、前記レーザ照射手段が、前記凹凸が形成された被検査物の表面領域にレーザ光を照射させるべく、前記レーザ源から出射されたレーザ光の光路を変更する入射光路変更手段を有し、前記反射光受光手段が、前記被検査物の表面で反射されたレーザ光を前記反射光受光手段に受光させるべく、当該レーザ光の光路を変更する反射光路変更手段を有することを特徴とするレーザ超音波欠陥検出装置。

IPC (4)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 11/30 ,  G01B 17/00 ,  G01B 21/30

FI (4)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 11/30 Z ,  G01B 17/00 Z ,  G01B 21/30 Z