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J-GLOBAL ID：200903031819665719

基板搬送装置

Inventor： 江畑 均
Applicant, Patent owner： 東芝機械株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992054315
Publication number (International publication number)：1993218175
Application date： Feb. 05, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 非導電性材質製のカセット内に収納されている基板から、この基板に悪影響をほとんど与えることなく、静電気を効果的に除去可能にする。【構成】 カセット30内に収納されている基板31の外周に、導電性部材である回転ローラ21を接触させ、好ましくは回転ローラ21により基板31を回転させて基板31の静電気をアース23へ逃がす。さらに、カセット30の底部と一側端部を導電性材質製のガイド13,14に嵌入保持させ、カセット30の静電気をアース18へ逃がすことにより、基板31の静電気の電圧をより低く押える。

Claim (excerpt)：

非導電性材質製のカセットと、同カセット内に収納されている基板と、同基板の外周に接触可能に設けられた導電性部材と、同導電性部材に接続されたアース取り手段と、を具備する基板搬送装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平3-012949
  
• 特開平3-275871
  
• 特開昭63-072137
  
• 特開昭64-013717
  
• 特開平2-131794