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J-GLOBAL ID：200903031819665719
基板搬送装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992054315
Publication number (International publication number)：1993218175
Application date： Feb. 05, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 非導電性材質製のカセット内に収納されている基板から、この基板に悪影響をほとんど与えることなく、静電気を効果的に除去可能にする。【構成】 カセット30内に収納されている基板31の外周に、導電性部材である回転ローラ21を接触させ、好ましくは回転ローラ21により基板31を回転させて基板31の静電気をアース23へ逃がす。さらに、カセット30の底部と一側端部を導電性材質製のガイド13,14に嵌入保持させ、カセット30の静電気をアース18へ逃がすことにより、基板31の静電気の電圧をより低く押える。
Claim (excerpt)：
非導電性材質製のカセットと、同カセット内に収納されている基板と、同基板の外周に接触可能に設けられた導電性部材と、同導電性部材に接続されたアース取り手段と、を具備する基板搬送装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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