Pat

J-GLOBAL ID：200903031853809762

赤外線ガス分析計

Inventor： 荒谷 克彦
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999199771
Publication number (International publication number)：2001027601
Application date： Jul. 14, 1999
Publication date： Jan. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】小形で精度の安定度の高い赤外線ガス分析計を提供する。【解決手段】光源により赤外線を試料セル5に入射させた状態で、移動機構17により、光軸に対して多層膜フィルタ16を周期的に角度を変え、試料ガス中の測定対象ガスに吸収される赤外線と試料ガスに吸収されない赤外線を透過させ、検出器7で検出する。信号変換器8で測定対象ガスに吸収される赤外線検出値を試料ガスに吸収されない赤外線の検出値で除算補正することにより測定濃度に含まれる誤差が除かれる。

Claim (excerpt)：

赤外線を出射する光源と、試料ガスを流通し該赤外線を照射する試料セルと、波長を選択する多層膜フィルタと、赤外線を検出する赤外検出器を備えた赤外線ガス分析計において、多層膜フィルタの入射面を光軸に対し一定の角度で周期的に移動させる移動手段を備え、該多層膜フィルタを透過した試料ガス成分吸収光と非吸収光を検出し、試料ガス中の成分濃度を測定するようにしたことを特徴とする赤外線ガス分析計。

IPC (2)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/35

FI (2)：

G01N 21/27 F ,  G01N 21/35 Z

F-Term (10)：

2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ24 ,  2G059MM01 ,  2G059MM18