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J-GLOBAL ID：200903031880261280
静電駆動装置、その駆動方法、および前記静電駆動装置を備えた情報処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993048306
Publication number (International publication number)：1994261558
Application date： Mar. 09, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：
【要約】【目的】 機構が簡単で小型の静電駆動装置を提供する。【構成】 静電駆動装置は、複数の静電モーター用電極111を有する支持台110と、支持台110上を浮上した状態で移動可能な可動部112と、可動部112の下面に動圧力を発生させる第1の圧電素子113と、複数の静電モーター電極111および第1の圧電素子113に掃引電圧を印加する第1の圧電素子駆動回路117とを有する。
Claim (excerpt)：
複数の電極を有する固定部と、該固定部上を浮上した状態で移動可能な可動部とを有する静電駆動装置において、前記可動部の下面に動圧力を発生させる電圧-変位変換手段と、前記固定部上の複数の電極および電圧-変位変換手段に掃引電圧を印加する電圧掃引手段とを有することを特徴とする静電駆動装置。
IPC (2)：
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