Pat
J-GLOBAL ID:200903031912413002
感光性透明導電膜形成用塗布液、パターン化された透明導電膜および該透明導電膜の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
内田 幸男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000195685
Publication number (International publication number):2002015631
Application date: Jun. 29, 2000
Publication date: Jan. 18, 2002
Summary:
【要約】【課題】 安定性に優れた感光性透明導電膜形成用塗布液であって、化学的安定性、パターン加工精度および成膜作業性がよい塗布液を提供する。【解決手段】 錫(Sn)化合物に、または錫(Sn)化合物とアンチモン(Sb)化合物に有機配位子が配位したキレート錯体と、紫外線硬化型または紫外線崩壊型の感光性樹脂と、溶剤とを少なくとも含有する感光性透明導電膜形成用塗布液。この塗布液を基板上に塗布、乾燥し、該乾燥膜上にフォトマスクを設置し、紫外線にて露光後、現像してパターン化し、400°C以上で焼成することによって、パターン化された透明導電膜が製造される。
Claim (excerpt):
錫(Sn)化合物に有機配位子が配位したキレート錯体と、紫外線硬化型または紫外線崩壊型の感光性樹脂と、溶剤とを少なくとも含有することを特徴とする感光性透明導電膜形成用塗布液。
IPC (10):
H01B 13/00 503
, H01B 13/00
, C09D 5/00
, C09D 7/12
, C09D201/00
, G02F 1/1343
, G03F 7/004 501
, G03F 7/40 501
, H01B 1/20
, H01B 5/14
FI (10):
H01B 13/00 503 B
, H01B 13/00 503 C
, C09D 5/00 Z
, C09D 7/12
, C09D201/00
, G02F 1/1343
, G03F 7/004 501
, G03F 7/40 501
, H01B 1/20 A
, H01B 5/14 A
F-Term (40):
2H025AA00
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025CC03
, 2H025CC09
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H092HA03
, 2H092MA10
, 2H092MA14
, 2H092NA11
, 2H092NA27
, 2H092NA29
, 2H096AA27
, 2H096BA01
, 2H096BA09
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 4J038JC38
, 4J038JC41
, 4J038KA06
, 4J038KA12
, 4J038NA01
, 4J038NA20
, 4J038PA17
, 4J038PA19
, 4J038PB09
, 5G301DA22
, 5G301DA42
, 5G301DD02
, 5G307FA01
, 5G307FB01
, 5G307FC03
, 5G323BA04
, 5G323BB01
, 5G323BC01
Patent cited by the Patent:
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