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J-GLOBAL ID：200903031931154158

研磨用スラリー

Inventor： 富永 聡 ,  長尾 修一
Applicant, Patent owner： 昭和キャボットスーパーメタル株式会社
Agent (1)： 矢口 平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996131833
Publication number (International publication number)：1997316431
Application date： May. 27, 1996
Publication date： Dec. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 研磨能と洗浄性に優れ、かつ繰返し使用に耐える長寿命のCMP用の研磨用スラリーを提供する。【解決手段】 水酸化セシウム(CsOH)を含むアルカリ水溶液中に研磨材を分散させる。さらに塩化セシウム(CsCl)又はギ酸セシウム(CsCOOH)を併用して、繰返し使用しても研磨特性の劣化しにくい研磨用スラリーを提供する。

Claim (excerpt)：

水酸化セシウムを含む水溶液中に研磨剤を分散させたことを特徴とする研磨用スラリー。

IPC (4)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (4)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/14 550 D ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 321 P