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J-GLOBAL ID：200903031938988240

走査透過電子顕微鏡

Inventor： 矢口 紀恵 ,  橋本 隆仁 ,  今野 充 ,  上野 武夫 ,  砂子沢 成人
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998293438
Publication number (International publication number)：2000123774
Application date： Oct. 15, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 二次元検出器を必要とせず簡単な構成で走査透過像と電子線回折像を観察・記録する。【解決手段】 制御部16によって対物レンズ4の励磁電流を切り替えることができるようにし、対物レンズ4を強励磁として試料6の走査透過像を表示するモードと、対物レンズ4を弱励磁として電子線回折像を表示するモードを切り替える。走査透過像と電子線回折像は、CRT9上に同時に表示することができる。

Claim (excerpt)：

試料上に収束する電子線で試料を走査し、試料を透過した電子線による試料の走査透過像を表示する走査透過電子顕微鏡において、試料の下方で収束する電子線によって試料を走査し、試料で回折された電子線による試料の電子線回折像を表示する機能を有することを特徴とする走査透過電子顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/22 502

FI (4)：

H01J 37/28 C ,  H01J 37/141 A ,  H01J 37/22 501 A ,  H01J 37/22 502 A

F-Term (5)：

5C033DE02 ,  5C033SS01 ,  5C033SS03 ,  5C033SS07 ,  5C033UU06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭54-148372
  
• 特開平4-190550
  
• 特開昭62-271338
  
• 特開昭54-058346