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J-GLOBAL ID：200903031949074054

静圧流体軸受およびその位置決め制御装置

Inventor： 涌井 伸二 ,  浅田 克己 ,  佐藤 幹夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992046384
Publication number (International publication number)：1993215133
Application date： Feb. 03, 1992
Publication date： Aug. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 軸受の組立精度や機械的精度のバラツキあるいは軸受の移動による場所的変化による軸受隙間の変化を防止した静圧空気軸受を提供する。【構成】 流体を対向面に噴出してその静圧により対向面との間に隙間を保つため静圧パッド5a、5bと、前記隙間を減少させる方向に作用するバイアス用磁石12a、12bと、該バイアス用磁石の磁場変調用コイル13a、13bとを備えたことを特徴とする静圧流体軸受。

Claim (excerpt)：

流体を対向面に噴出してその静圧により対向面との間に隙間を保つための静圧パッドと、前記隙間を減少させる方向に作用するバイアス用磁石と、該バイアス用磁石の磁場変調用コイルとを備えたことを特徴とする静圧流体軸受。

IPC (3)：

F16C 32/00 ,  F16C 32/04 ,  F16C 32/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-070457
  
• 特開昭62-138045
  
• 特開昭61-251459
  
• 特開昭62-239852