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J-GLOBAL ID：200903031959640562

白色発光Si:SiO2膜およびそれを具備した白色発光素子

Inventor： 花泉 修
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002240811
Publication number (International publication number)：2003277740
Application date： Aug. 21, 2002
Publication date： Oct. 02, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 白色発光する白色発光Si:SiO2膜を提供する。【解決手段】 基板上にスパッタリング成膜により形成された、SiO2中にSiが膜全体に対する体積比率で6.0%以下の割合で含有されたSi:SiO2膜とし、スパッタリングの後にアニール処理が行われていない白色発光Si:SiO2膜とする。

Claim (excerpt)：

基板上に気相成膜により形成された、SiO2中にSiが膜全体に対する体積比率で6.0%以下の割合で含有されたSi:SiO2膜であり、白色発光することを特徴とする白色発光Si:SiO2膜。

IPC (4)：

C09K 11/00 ,  C09K 11/08 ,  C09K 11/59 CPB ,  H01L 33/00

FI (4)：

C09K 11/00 A ,  C09K 11/08 A ,  C09K 11/59 CPB ,  H01L 33/00 A

F-Term (9)：

4H001CA04 ,  4H001CF01 ,  4H001XA08 ,  4H001XA14 ,  4H001YA14 ,  5F041AA11 ,  5F041CA33 ,  5F041CA73 ,  5F041CA77