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J-GLOBAL ID：200903032012167479

ワイヤーグリット型偏光子及びその製造方法

Inventor： 亀野 逸人 ,  吉城 泰信
Applicant, Patent owner： 日本分光株式会社
Agent (1)： 岩橋 祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000150402
Publication number (International publication number)：2001330728
Application date： May. 22, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 本発明の目的は、比較的簡単な工程で、安価な材料からワイヤーグリット型の偏光子を提供することである。【解決手段】 前記目的を達成するために本発明にかかるワイヤーグリット型偏光子は、特定の波長範囲にある光を透過させない基板と、前記基板の表裏両面に設けられたホトレジスト層とを有し、前記ホトレジスト層には、基板の表裏両面で互いに平行の関係となるように複数の凹凸による平行線パターンが形成されており、前記基板の表裏両面に形成された凹凸による平行線パターンの凸部頂上及びその近傍にのみ金属を蒸着して、基板の表裏両面にワイヤーグリットが形成されていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

特定の波長範囲にある光を透過させない基板と、前記基板の表裏両面に設けられたホトレジスト層とを有し、前記ホトレジスト層には、基板の表裏両面で互いに平行の関係となるように複数の凹凸による平行線パターンが形成されており、前記基板の表裏両面に形成された凹凸による平行線パターンの凸部頂上及びその近傍にのみ金属を蒸着して、基板の表裏両面にワイヤーグリットが形成されていることを特徴とするワイヤーグリット型偏光子。

IPC (2)：

G02B 5/30 ,  G02B 5/18

FI (2)：

G02B 5/30 ,  G02B 5/18

F-Term (11)：

2H049AA02 ,  2H049AA12 ,  2H049AA34 ,  2H049AA43 ,  2H049AA46 ,  2H049AA48 ,  2H049AA58 ,  2H049BA02 ,  2H049BA45 ,  2H049BC01 ,  2H049BC23