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J-GLOBAL ID：200903032023427120

らせん状単結晶の製造方法並びにその製造装置及びる つぼ

Inventor： 小松 隆一 ,  杉原 忠
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994281991
Publication number (International publication number)：1996143399
Application date： Nov. 16, 1994
Publication date： Jun. 04, 1996
Summary：

【要約】【目的】らせん状の単結晶を得る。【構成】原料融解るつぼ10内に連通するノズル12を介して融液Lに種結晶40を漬けた後、種結晶40を引き上げ又は引き下げることによってファイバー状単結晶を製造するに際し、種結晶40を回転軸心Aの回りに回転させつつ回転軸心A方向に移動させる。この方法は酸化物結晶に有効である。製造装置20は、種結晶保持具31と、種結晶保持具31を回転軸心から所定距離離間させる連結部材30と、該連結部材30を回転軸心Aの回りに一定の速度で回転させる回転機構21と、該回転機構21をその回転軸心A方向に一定速度で移動させる垂直移動機構23とを具備する。単結晶の原料を融解するるつぼとして、るつぼ10内部の融液をるつぼ外部と連通させる細口のノズル12を設け、該ノズルの向きを水平方向〜水平方向から30度とする。

Claim (excerpt)：

原料融解るつぼ内に連通するノズルを介して融液に種結晶を漬けた後、種結晶を引き上げ又は引き下げることによってファイバー状単結晶を製造するに際し、種結晶を回転軸心の回りに回転させつつ回転軸心方向に移動させることを特徴とするらせん状単結晶の製造方法。

IPC (4)：

C30B 29/60 ,  C30B 15/06 ,  C30B 15/30 ,  C30B 29/30