Pat

J-GLOBAL ID：200903032034075586

カラー近接場光学顕微鏡

Inventor： 木口 雅史 ,  加藤 美登里
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996112295
Publication number (International publication number)：1997297099
Application date： May. 07, 1996
Publication date： Nov. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】被測定試料の色彩を観察できるカラー近接場光学顕微鏡を実現する。【解決手段】近接場光学顕微鏡の照明光源に白色光を用い,3原色の光強度を各々測定して,カラー画像化する。具体的には、プローブ6の先端を試料に数十ナノメートルの距離まで接近させて試料15を照明する。試料による反射光を色消しレンズ7で平行光とし、ダイクロイックミラー8用いて色分離し、ミラー17とレンズ9で3つの光電子増倍管10に各々導く。コントローラ11を用いてプリズム表面とプローブ先端の距離を変えずにx-y面で2次元掃引して光電子増倍管の出力をRGB信号として取り込み,画像コントローラ12ヲ用いてカラー画像化し,モニター18で表示する。【効果】被測定試料の色彩を観察することができるため,物の判別が直感的に行えるようになる。また,色の違いを利用した異物の識別を迅速に行うことができる。

Claim (excerpt)：

近接場顕微鏡において,白色光,あるいは,それに準ずるスペクトル幅の広い光を用いて試料照明を行い,試料を透過あるいは試料から反射した光を3原色に分離して強度を測定し,カラー画像を得ることを特徴とするカラー近接場光学顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 21/27 ,  G01N 37/00 ,  G02B 21/06

FI (3)：

G01N 21/27 E ,  G01N 37/00 D ,  G02B 21/06