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J-GLOBAL ID：200903032062280969

軸外球面鏡と屈折素子を用いる分光計測システム

Inventor：
ノートン,アダム イー.

About ノートン,アダム イー.


Applicant, Patent owner：
ケーエルエー-テンカー コーポレイション

About ケーエルエー-テンカー コーポレイション


Agent (1)： 井ノ口 壽
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000542645
Publication number (International publication number)：2002510797
Application date： Mar. 25, 1999
Publication date： Apr. 09, 2002
Summary：
【要約】【課題】 分光計測システムにおいて色収差のない光学系を使用可能とする。【解決手段】 色収差のない光学系が球面鏡の軸から離れた方向に放射ビームを受け取る球面鏡と、一対のレンズ(正レンズと負メニスカス・レンズ)とを有する。前記負メニスカス・レンズは球面鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正する。正レンズは、負レンズによって導入される色収差のない収差を補償して、光学系が、全体として可視波長と紫外線波長にわたって色収差が生じないようにする。好適には、2つのレンズが組み合わされてゼロ倍率若しくはゼロ倍率に近い倍率を持つようになされることが望ましい。球面鏡を用いることにより、楕円偏光法、反射計測法あるいは散乱計測法で計測可能な試料スポットのサイズを制限する要因であるダイヤモンド旋削のアーティファクトを伴う偏楕円鏡や放物面鏡面を使用する必要がない。
Claim (excerpt)：
試料に対して分光楕円偏光法計測を行う装置において、 広帯域放射を出射する光源と、 前記広帯域放射を偏光してサンプリング・ビームを生成する偏光子と、 試料上の狭いスポットに対してサンプリング・ビームを合焦する実質的に色収差のない光学系であって、前記光学系が球面鏡と少なくとも2つの屈折素子とを含み、前記サンプリング・ビームが鏡軸から離れた方向から鏡に対して入射し、前記素子の中の少なくとも1つが前記鏡からの軸外反射によって生じた前記鏡からの軸外反射によって生じた球面収差を補正するようになされる前記光学系と、 試料と相互作用したサンプリング・ビームの放射を分析し、それによって出力ビームを生成する検光子と、 出力ビームを検知して検知出力を供給する検知手段と、 前記検知手段からの出力を処理して、試料との相互作用によって生じたサンプリング・ビームの振幅と位相の偏光状態の変化を測定する手段と、を有することを特徴とする装置。
IPC (3)：
G01N 21/21 ,  G01J 4/04 ,  G01N 21/27
FI (3)：
G01N 21/21 Z ,  G01J 4/04 A ,  G01N 21/27 Z
F-Term (10)：
2G059AA02 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059GG04 ,  2G059GG10 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 特開昭63-127133
  • 特開昭63-108236
  • 特開昭63-066424
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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