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J-GLOBAL ID:200903032084073967

自動ワイヤボンダ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 早川 政名
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992262214
Publication number (International publication number):1994112261
Application date: Sep. 30, 1992
Publication date: Apr. 22, 1994
Summary:
【要約】【目的】放電電極からの放電をより安定性あるものとして、ボール形成時におけるボール径のばらつきが少ない自動ワイヤボンダを提供する。【構成】Os,Ru,Pt,Rh,Pdの中から1種または2種以上を総量1〜30wt%含有せしめ、且つ、Re,W,Moの中から1種または2種以上を総量0.1 〜7wt%含有せしめ、残部IrからなるIr合金で放電電極1a及びそのヘッド部1bを形成した。
Claim (excerpt):
ボンディング時におけるボール形成用の放電電極が、Os,Ru,Pt,Rh,Pdの中から1種または2種以上を総量1〜30wt%含有し、残部IrからなるIr合金であることを特徴とする自動ワイヤボンダ。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平1-256134
  • 特開平2-094382

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