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J-GLOBAL ID：200903032111155474
硬質炭素積層膜
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青木 秀實
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991254813
Publication number (International publication number)：1993065625
Application date： Sep. 04, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】 耐摩耗部品などに用いる硬質炭素膜であって、膜厚が厚く、かつ剥離が発生し難いものを提供する。【構成】 基材上に硬質炭素膜とバッファ層を交互に積層し、最外層が硬質炭素膜となるようにする。
Claim (excerpt)：
基材上に硬質炭素膜とバッファ層とを交互に積層し、最外層が硬質炭素膜となることを特徴とする硬質炭素積層膜。
IPC (3)：
C23C 14/06
, C23C 14/32
, C23C 16/30
Cited by examiner (6)
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