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J-GLOBAL ID：200903032114051289

プラズマ処理によるフィルムシートの表面改質方法及びその装置

Inventor： 続木 淳朗 ,  岡 素裕 ,  三宅 秀之 ,  中川 美和 ,  後藤 貴和
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998180553
Publication number (International publication number)：2000007802
Application date： Jun. 26, 1998
Publication date： Jan. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 大気圧プラズマ放電において、空気がプラズマチャンバー内に侵入しにくい方法及び装置を提供する。【解決手段】 プラズマチャンバー11が閉塞ハウジング11aを有し、該ハウジング11aのフィルムシート入口19a近傍に原料ガス25の排出口18aを備える一方、ハウジング11aのフィルムシート出口19b近傍に、原料ガス25の供給口18bを備える表面改質装置において、フィルムシート21の搬送方向と反対方向に原料ガス25を流す。すなわち、原料ガス25は、原料ガス供給口18bから導入して原料ガス排出口18aから排出する際に、フィルムシート入口19aからも排出されるので、外界の空気がフィルムシート入口19aからプラズマチャンバー11内に侵入しにくくなる。

Claim (excerpt)：

連続フィルムシート(21)を、原料ガス(25)の充填されているプラズマチャンバー内にその入口(19a)から連続搬入してその出口(19b)から連続搬出し、該プラズマチャンバー(11)内でプラズマ処理してフィルムシート(21)の表面を改質する方法において、原料ガス(25)をプラズマチャンバー(11)内に、フィルムシート出口(19b)側から連続供給してフィルムシート入口(19a)側から連続排出することを特徴とするプラズマ処理によるフィルムシートの表面改質方法。

F-Term (8)：

4F073AA01 ,  4F073AA02 ,  4F073BA08 ,  4F073BB01 ,  4F073CA04 ,  4F073CA07 ,  4F073CA08 ,  4F073CA65

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• シート状基材の連続処理方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-283973   Applicant：積水化学工業株式会社
• 特開昭61-271335
  
• 特開平3-143930