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J-GLOBAL ID：200903032120559227

金属層を備えたセラミックス基板とその製造方法

Inventor： 深津 康昭
Applicant, Patent owner： イビデン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992026084
Publication number (International publication number)：1993191038
Application date： Jan. 16, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 基板とメタライズ層との間に十分な密着強度を確保する。【構成】 非酸化物系セラミックス基板(1)の表面を粗化してアンカー(A)を設け、その粗化面に酸化物層(2)の形成を行った後、酸化物層(2)上に化学メッキにより金属層(3)を形成し、さらに金属層(3)を不活性雰囲気下において加熱処理を行い、酸化物層(2)と金属層(3)との間に複合酸化物層(5)を生成させ、密着強度を向上させる。

Claim (excerpt)：

表面の少なくとも1部に金属層(3)を備えた非酸化物系セラミックス基板(1)であって、非酸化物系セラミックス基板(1)の金属層(3)との接合面側には、表面が粗化された状態の酸化物層(2)が形成されてなり、且つ該酸化物層(2)と金属層(3)との間には複合酸化物層(5)を介在してなることを特徴とする金属層を備えたセラミックス基板。

IPC (5)：

H05K 3/38 ,  C04B 37/02 ,  H01L 23/14 ,  H05K 1/03 ,  H05K 3/18