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J-GLOBAL ID：200903032131880949

プラズマ処理装置における放電管冷却機構

Inventor： 砂田 剛 ,  藤本 秀樹 ,  高田 俊成 ,  中村 辰也
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 飯阪 泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993342517
Publication number (International publication number)：1995169592
Application date： Dec. 13, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】[目的] 放電管の温度上昇を抑制して、真空シール部材の真空シール性を維持させることにより、プラズマ処理装置の長時間稼動を可能ならしめること。[構成] O-リング22aの近傍の放電管20の表面に熱伝導シート60を巻装し、その表面へ上下から水冷アルミニウム・ブロック51、52をあてがい、挟圧して固定する。

Claim (excerpt)：

プラズマ処理装置の放電管に設けられる真空シール部材の近傍において、前記放電管の外周に熱伝導シートを介して冷却体が圧接されていることを特徴とするプラズマ処理装置における放電管冷却機構。

IPC (2)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/3065