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J-GLOBAL ID:200903032146936568

質量分析装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999053150
Publication number (International publication number):2000251831
Application date: Mar. 01, 1999
Publication date: Sep. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】質量分析装置の中間室と測定室を仕切る隔壁上に設けられたオリフィスの口径を可変できるようにして、イオンの感度や分解能を任意に調整することのできる質量分析装置を提供する。【解決手段】試料をイオン化するイオン源と、該イオン源で生成したイオンを後段側で受け入れる中間室と、該中間室の更に後段側に置かれ、種々のイオン光学系の構成物が配置された測定室とから成る質量分析装置において、前記中間室と前記測定室を仕切る隔壁部分に、種々の口径を備えた可変式スリットを設けた。また、前記中間室と前記測定室を仕切る隔壁部分に、口径を任意に可変できる絞り穴を設けた。
Claim (excerpt):
試料をイオン化するイオン源と、該イオン源で生成したイオンを後段側で受け入れる中間室と、該中間室の更に後段側に置かれ、種々のイオン光学系の構成物が配置された測定室とから成る質量分析装置において、前記中間室と前記測定室を仕切る隔壁部分に、種々の口径を備えた可変式スリットを設けたことを特徴とする質量分析装置。
IPC (2):
H01J 49/06 ,  G01N 27/62
FI (2):
H01J 49/06 ,  G01N 27/62 K
F-Term (2):
5C038FF01 ,  5C038GH13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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