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J-GLOBAL ID：200903032150408118
材料表面の硬度評価方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992079596
Publication number (International publication number)：1993281119
Application date： Apr. 01, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 材料表面の硬度をナノメータ・スケールで局所的に評価する。【構成】 原子間力顕微鏡(AFM)用カンチレバーの先端に設けた探針を、評価すべき材料表面に所定の針圧で接触させる。この状態で、上記カンチレバーのたわみが一定になるようにカンチレバーと材料表面との距離を制御しつつ上記材料表面を走査して上記材料表面にくぼみを発生させる。この後、上記探針を上記材料表面に上記針圧よりも小さい針圧(最早くぼみが発生しないレベル)で接触させ、通常のAFM像を観測して上記くぼみの深さを測定する。
Claim (excerpt)：
原子間力顕微鏡用カンチレバーの先端に設けた探針を材料表面に所定の針圧で接触させた状態で、上記カンチレバーのたわみが一定になるようにカンチレバーと材料表面との距離を制御しつつ上記材料表面を走査して上記材料表面にくぼみを発生させ、上記くぼみの深さに応じて上記材料表面の硬度を求めることを特徴とする材料表面の硬度評価方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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