Pat

J-GLOBAL ID：200903032218320524

遮光膜で被覆された透過窓を有するプラズマ処理装置

Inventor： 鈴木 伸昌 ,  内山 信三 ,  北川 英夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 西山 恵三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001215286
Publication number (International publication number)：2002164330
Application date： Jul. 16, 2001
Publication date： Jun. 07, 2002
Summary：

【要約】【課題】 処理速度の低下を抑え、信頼性の高いプラズマ処理装置を用いてプラズマ処理を施し、再現性に優れた構造体の製造方法を提供する。【解決手段】 内部が排気可能な容器(1)と、前記容器内に処理ガスを供給するガス供給口(17)とを有し、前記容器内に配された被処理体(W)にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記容器内に前記ガスのプラズマを発生させるための高周波エネルギーを透過する透過窓(4)の内面に、該透過窓の誘電体損失を増大させ得る光の該誘電体窓への入射を妨げる遮光膜(45)が設けられていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

内部が排気可能な容器と、前記容器内に処理ガスを供給するガス供給口とを有し、前記容器内に配された被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記容器内に前記ガスのプラズマを発生させるための高周波エネルギーを透過する透過窓の内面に、該透過窓の誘電体損失を増大させ得る光の該誘電体窓への入射を妨げる遮光膜が設けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (11)：

H01L 21/3065 ,  B01J 19/08 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/511 ,  C23F 4/00 ,  G02B 1/10 ,  G02B 5/22 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46

FI (11)：

B01J 19/08 H ,  C23C 16/44 Z ,  C23C 16/511 ,  C23F 4/00 A ,  G02B 5/22 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/31 C ,  H05H 1/46 B ,  H01L 21/302 B ,  G02B 1/10 Z

F-Term (93)：

2H048CA01 ,  2H048CA05 ,  2H048CA09 ,  2H048CA14 ,  2H048CA17 ,  2H048FA01 ,  2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA09 ,  2H048FA15 ,  2H048FA24 ,  2H048GA01 ,  2H048GA04 ,  2H048GA07 ,  2H048GA09 ,  2H048GA34 ,  2H048GA60 ,  2H048GA61 ,  2K009BB11 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009CC14 ,  2K009DD04 ,  2K009DD09 ,  2K009EE00 ,  4G075AA30 ,  4G075AA62 ,  4G075AA65 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075BC02 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075BC10 ,  4G075BD14 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075EC14 ,  4G075FB04 ,  4K030AA06 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA40 ,  4K030BA44 ,  4K030CA04 ,  4K030FA01 ,  4K030KA37 ,  4K030KA47 ,  4K030LA15 ,  4K057DA01 ,  4K057DB01 ,  4K057DB06 ,  4K057DD01 ,  4K057DE06 ,  4K057DE20 ,  4K057DM02 ,  4K057DM29 ,  4K057DN01 ,  5F004AA01 ,  5F004BA03 ,  5F004BA14 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11 ,  5F004BB14 ,  5F004BB18 ,  5F004BB30 ,  5F004BB31 ,  5F004BD01 ,  5F004BD04 ,  5F004CA02 ,  5F004CA04 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004DB02 ,  5F004DB03 ,  5F004DB26 ,  5F045AA09 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045AC01 ,  5F045AC11 ,  5F045AC15 ,  5F045AD07 ,  5F045AE17 ,  5F045AF03 ,  5F045AF07 ,  5F045BB03 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EB03 ,  5F045EH03 ,  5F045EH07