Pat

J-GLOBAL ID：200903032224987077

走査型露光装置及び該走査型露光装置を用いてデバイスを製造する方法

Inventor： 塩澤 崇永
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994140174
Publication number (International publication number)：1996008168
Application date： Jun. 22, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 露光むらを小さくすること。【構成】 微小レンズを直交配列した通常のフライアイレンズ206を光軸を回転軸として角度θ回転させることにより2次光源を成す複数個の光源部206bの配列方向α、βをウエハー214の走査方向Xからずらし、ウエハー214上に発生する干渉縞の方向が走査方向に対して傾いた状態で走査露光を行って干渉縞を平滑化する。

Claim (excerpt)：

照明光によりマスクのパターンを基板上に投影し前記照明光に対して前記マスクと基板とを走査方向に走査することにより前記マスクのパターンで前記基板を露光する装置において、可干渉性を有する光を供給する手段と前記供給手段からの光で前記照明光を形成する照明光学系とを有し、前記照明光学系は、前記走査方向に光源部が実質的に並ばないよう複数個の光源部を2次元的に分布させた2次光源を形成することを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 515 B