感光性組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996285272
Publication number (International publication number)：1998133364
Application date： Oct. 28, 1996
Publication date： May. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】高感度で経時保存安定性の良好な感光性組成物を提供すること。【解決手段】トリアリールスルフォニウムハロゲニド塩とスルフォン酸アンモニウム塩との反応により得られる、活性光線または放射線の照射により酸を発生するトリアリールスルフォニウムスルフォン酸塩を含有する感光性組成物。

Claim (excerpt)：

トリアリールスルフォニウムハロゲニド塩とスルフォン酸アンモニウム塩との反応により得られる、活性光線または放射線の照射により酸を発生するトリアリールスルフォニウムスルフォン酸塩を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

化学増幅ポジ型レジスト材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-329914 Applicant：信越化学工業株式会社, 日本電信電話株式会社
感光性樹脂組成物およびレジスト像の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-247656 Applicant：日立化成工業株式会社, 株式会社日立製作所
特開平1-228560

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