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J-GLOBAL ID：200903032247135132

プラズマ発生装置

Inventor： 大槻 義彦 ,  大古殿 秀穂
Applicant, Patent owner： 大槻 義彦
Agent (1)： 中川 邦雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000180007
Publication number (International publication number)：2001357999
Application date： Jun. 15, 2000
Publication date： Dec. 26, 2001
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、マイクロ波の如く高周波電波放電を利用したプラズマ発生装置の改良に関するものである。【構成】 本発明は、高周波電波を発生する発振手段と、この発振手段により発生した高周波電波を処理する回路手段と、この回路手段によって処理された高周波電波を伝送する伝送手段と、この伝送手段によって伝送された高周波電波を用いてプラズマを発生させるプラズマ発生手段とからなり、このプラズマ発生手段が、内部に前記伝送された高周波電波の電解成分と磁界成分を閉じ込める空胴共振器と、該空胴共振器である空洞容器内に設けられた前記高周波の電解成分との間に集中電界を形成させるプラズマ励起部材が、空洞容器内に垂直に立てられ、先端にステンレスねじを設けた銅丸棒と、該銅丸棒の先端下部に該銅丸棒に対し垂直に設けられたタングステン又は銅棒である金属片とから構成されていることを特徴とするプラズマ発生装置である。

Claim (excerpt)：

高周波電波を発生する発振手段と、この発振手段により発生した高周波電波を処理する回路手段と、この回路手段によって処理された高周波電波を伝送する伝送手段と、この伝送手段によって伝送された高周波電波を用いてプラズマを発生させるプラズマ発生手段とからなり、このプラズマ発生手段が、内部に前記伝送された高周波電波の電解成分と磁界成分とを閉じ込める空胴共振器と、該空胴共振器である空洞容器内に設けられた前記高周波の電解成分との間に集中電界を形成させるプラズマ励起部材が、空洞容器内に垂直に立てられ、先端にステンレスねじを設けた銅丸棒と、該銅丸棒の先端下部に該銅丸棒に対し垂直に設けられたタングステン又は銅棒である金属片とから構成されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (3)：

H05H 1/24 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/505

FI (3)：

H05H 1/24 ,  H05H 1/46 B ,  C23C 16/505

F-Term (4)：

4K030FA01 ,  4K030KA30 ,  4K030KA32 ,  4K030KA34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-056100
  
• 特開昭62-204530
  
• 特開平4-056100
  
• 特開昭62-204530