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J-GLOBAL ID：200903032268663589
焦点合わせ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991264792
Publication number (International publication number)：1993107057
Application date： Oct. 14, 1991
Publication date： Apr. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 対象物に対し、敏速で正確に焦点を合わせる焦点合わせ装置を提供する。【構成】 本発明の焦点合わせ装置は、測定用光線束が対物レンズを通して対象物に照射される。そして、対象物からの反射光は、振動しているピンホールを通過し受光素子に照射される。このとき、受光素子の受光量は対物レンズと対象物との距離及びピンホールの位置により変化する。そして、CPUは、受光素子の受光量とピンホールの位置から焦点ずれを検出し、その検出結果に従い、モータは前記対象物と前記対物レンズの離隔を変更すべく動作する。
Claim (excerpt)：
対象物の表面形状を観察あるいは撮像する光学機器の該対象物に対する焦点を合わせる焦点合わせ装置に於いて、前記光学機器の対物レンズを光軸として、前記対象物に測定用光線束を照射する光源と、前記対象物からの反射光の光路を制限する光路規制手段と、前記対象物からの反射光の光量を変化させるために、光路規制手段を振動させる振動手段と、その振動手段により振動される光路規制手段の位置を検出する位置検出手段と、前記光路規制手段を通過した反射光を受光する受光素子と、前記位置検出手段の検出結果と前記受光素子の受光量に応じて焦点位置のずれを演算する焦点ずれ検出手段と、その焦点ずれ検出手段の検出結果に応じて、前記対象物と前記対物レンズとの間の距離を変更する離隔変更手段とを備えたことを特徴とする焦点合わせ装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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