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J-GLOBAL ID：200903032275677846

石英系光導波路とその製造方法

Inventor： 水野 一庸 ,  大山 功 ,  清水 健男 ,  柳川 久治
Applicant, Patent owner： 古河電気工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994131047
Publication number (International publication number)：1995318739
Application date： May. 20, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 ガラス化中に気泡が取り残されて残留することがない石英系光導波路とその製造方法を提供する。【構成】 基板11の上に石英系ガラスの下部クラッド層12が形成され、下部クラッド層12の上に石英系ガラスのコア層13が形成され、下部クラッド層12およびコア層13が所定パターンの導波路16を形成し、所定パターンの導波路16を埋め込むように石英系ガラスの上部クラッド層17が形成された石英系光導波路であって、所定パターンの導波路16のコア層13の導波路側面は基板11に対して垂直になっていて、かつ下部クラッド層12の導波路側面は基板11に対して台形状に傾斜していることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

基板の上に石英系ガラスの下部クラッド層が形成され、前記下部クラッド層の上に石英系ガラスのコア層が形成され、前記下部クラッド層および前記コア層が所定パターンの導波路を形成し、前記所定パターンの導波路を埋め込むように石英系ガラスの上部クラッド層が形成された石英系光導波路であって、前記所定パターンの導波路の前記コア層の導波路側面は前記基板に対して垂直になっていて、かつ前記下部クラッド層の導波路側面は前記基板に対して台形状に傾斜していることを特徴とする石英系光導波路。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-090305
  
• 石英系光導波路とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-123074   Applicant：古河電気工業株式会社