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J-GLOBAL ID:200903032278806485

ワイヤボンディング用端子とその製造方法並びにそのワイヤボンディング端子を用いた半導体搭載用基板の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 若林 邦彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995153139
Publication number (International publication number):1997008438
Application date: Jun. 20, 1995
Publication date: Jan. 10, 1997
Summary:
【要約】【目的】加熱処理を行なってもワイヤボンディングの成功を妨げない、ワイヤボンディング用端子とその製造方法並びにそのワイヤボンディング端子を用いた半導体搭載用基板の製造方法を提供すること。【構成】端子形状の銅の表面に、無電解ニッケルめっき皮膜、置換パラジウムめっき皮膜または無電解パラジウムめっき皮膜、置換金めっき皮膜、無電解金めっき皮膜を、この順序に形成したこと。
Claim (excerpt):
端子形状の銅の表面に、無電解ニッケルめっき皮膜、置換パラジウムめっき皮膜または無電解パラジウムめっき皮膜、置換金めっき皮膜、無電解金めっき皮膜を、この順序に形成したことを特徴とするワイヤボンディング用端子。
IPC (3):
H05K 3/24 ,  C23C 18/52 ,  H01L 21/60
FI (3):
H05K 3/24 A ,  C23C 18/52 B ,  H01L 21/60
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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