透明ガスバリア性フィルムの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992145950
Publication number (International publication number)：1993339704
Application date： Jun. 05, 1992
Publication date： Dec. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】透明性が高く、ガスバリア性に優れたフィルムを安定して製造することを目的とする。【構成】高分子樹脂フィルム基材を連続的に走行させ、アルミニウム蒸気と酸素を該高分子樹脂フィルム基材上で反応させることにより該高分子樹脂フィルム基材上にアルミニウム酸化膜を連続的に形成する反応性蒸着法において、アルミニウム蒸気を蒸発させる蒸発源上に開口部を持つ防着板と該走行フィルムに囲まれた反応蒸着部分を設け、該高分子樹脂フィルムと該防着板の間のアルミニウム蒸気が飛来しない空間に酸素を導入することにより該反応蒸着部分のフィルム走行方向に酸素の圧力分布を設けることを特徴とする透明ガスバリア性フィルムの製造方法。

Claim (excerpt)：

高分子樹脂フィルム基材を連続的に走行させ、アルミニウム蒸気と酸素を該高分子樹脂フィルム基材上で反応させることにより該高分子樹脂フィルム基材上にアルミニウム酸化膜を連続的に形成する反応性蒸着法において、アルミニウム蒸気を蒸発させる蒸発源上に開口部を持つ防着板と該走行フィルムに囲まれた反応蒸着部分を設け、該高分子樹脂フィルムと該防着板の間のアルミニウム蒸気が飛来しない空間に酸素を導入することにより該反応蒸着部分のフィルム走行方向に酸素の圧力分布を設けることを特徴とする透明ガスバリア性フィルムの製造方法。

IPC (8)：

C23C 14/08 , B32B 7/02 , B32B 27/06 , B65D 65/40 , B65D 81/26 , C08J 7/04 , C23C 14/56 , B32B 9/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開昭62-228461
特開昭61-208623
特開昭62-097133

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Cited by examiner (4)

特開昭62-228461
特開昭61-208623
特開昭62-097133

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