Pat

J-GLOBAL ID：200903032325107515

データ分割ファイルの合成検証方法

Inventor： 田原 勝次 ,  櫻井 光雄
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 青木 朗 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992254971
Publication number (International publication number)：1994103335
Application date： Sep. 24, 1992
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体装置製造に用いるレチクル、フォトマスクなどのパターンマスク、より詳しくは、マスクパターンデータ処理時における異なるデータ分割ファイルに基づくパターンデータを合成検証する方法に関し、このパターンの合成検査を短時間で行うことのできる方法を提供する。【構成】 素子、配線などのためのデバイスパターンデータの第1分割ファイル1からデータ存在領域を算出して第1矩形パターン5とし、そして、アライメントマーク、寸法測定用マーク、品番マークなどのプロセスパターンデータの第2分割ファイル2からデータ存在領域を算出して第2矩形パターン6A、6B、6Cとして、これら矩形パターンの位置合わせ論理処理を行い、該矩形パターンの重複部分の有無をパターンマスク作成前段階に検証するように構成する。

Claim (excerpt)：

デバイスパターンデータの第1分割ファイル(1)からデータ存在領域を算出して第1矩形パターン(5)とし、そして、プロセスパターンデータの第2分割ファイル(2)からデータ存在領域を算出して第2矩形パターン(6A、6B、6C)として、これら矩形パターンの位置合わせ論理処理を行い、該矩形パターンの重複部分の有無をパターンマスク作成前段階に検証することを特徴とするデータ分割ファイルの合成検証方法。

IPC (6)：

G06F 15/60 370 ,  G03F 1/08 ,  G06F 11/22 310 ,  G06F 11/22 330 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/82

FI (2)：

H01L 21/30 301 V ,  H01L 21/82 C