ポジ型感光性組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997156995
Publication number (International publication number)：1999002895
Application date： Jun. 13, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】感度を劣化させることなく、高解像力を有し、更に露光後から加熱処理までの経時により、レジストパターン表面の形状がT型(T-top)を呈さず、且つ線幅変化が少ない、遠紫外光を使用するポジ型感光性組成物を提供する【解決手段】(a)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生するカルボニルイミド構造の置換基を有するジフェニルヨードニウム塩、及び(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

(a)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)で表される化合物、及び(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)中、R1〜R10は同一でも異なっていてもよく水素原子、ハロゲン原子、直鎖、分岐あるいは環状アルキル基、直鎖、分岐あるいは環状アルコキシ基、水酸基、ニトロ基、スルホアミノ基、ジアルキルアミノ基を示す。ただしR1〜R10のうち少なくとも1つは下記(II)または(III)の基である。【化2】式(II)または(III)中、R′は水素原子、アルキル基、アシル基、スルホニル基を示す。R′′は置換してもよいアルキル基、置換してもよいアリール基を示す。R′とR′′が結合して環を形成してもよい。Yは置換していてもよい直鎖又は分岐アルキレン基、置換していてもよくヘテロ原子を含んでいてもよい単環または多環環状アルキレン基、置換していてもよい直鎖又は分岐アルケニレン基、置換していてもよくヘテロ原子を含んでいてもよい単環または多環環状アルケニレン基、置換していてもよいアリーレン基、置換していてもよいアラルキレン基を示す。他のヨードニウム塩残基に結合していてもよい。Xn-はn価の置換していてもよい炭素原子数1〜20の直鎖、分岐、環状アルキルスルホネートイオン、炭素原子数1〜20の直鎖、分岐、環状アルキル基、またはアルコキシ基、水酸基、ニトロ基、ハロゲン原子、ハロゲン置換アルキル基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アシルアミノ基、スルホニルアミノ基によって置換されていてもよいアリールスルホネートイオン、炭素原子数1〜20の直鎖、分岐、環状アルキル基、またはアルコキシ基、水酸基、ニトロ基、ハロゲン原子、ハロゲン置換アルキル基、アルコキシカルボニル基、アシル基、アシルアミノ基、スルホニルアミノ基によって置換していてもよいベンジルスルフォネート基などのアラルキルスルホネートイオン、あるいはカンファースネホネートイオンを示す。また、nは1〜3の整数を表す。

IPC (6)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , C08L 25/18 , G03F 7/00 503 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 501 , C08L 25/18 , G03F 7/00 503 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

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