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J-GLOBAL ID：200903032337371536
アルミニウム電極のパターニング方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992250267
Publication number (International publication number)：1994104241
Application date： Sep. 18, 1992
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 液晶ディスプレイ用のTFT マトリックスにおけるドレインバスラインに関し,後処理において残留した薬液によって該ドレインバスラインが腐食し断線に到るような信頼性低下を防止することを目的とする。【構成】 前記後処理における薬液の残留は, 上記アルミニウム薄膜のサイドエッチングに起因している。一方, アルミニウム薄膜とその上に形成されたモリブデン薄膜とから成るバスラインをパターニングする際にアルミニウム薄膜に生じるサイドエッチングの量は, 前記モリブデン薄膜の厚さに依存する。したがって, アルミニウム薄膜にサイドエッチングが生じない範囲の厚さを有するモリブデン薄膜をアルミニウム薄膜上に形成する。
Claim (excerpt)：
基板の一表面に順次堆積されたアルミニウム薄膜とモリブデン薄膜とを湿式エッチングによってパターニングするに際して, 該アルミニウム薄膜の厚さに対する該モリブデン薄膜の厚さの割合をあらかじめ制御しておくことによって, 前記エッチングにおける該アルミニウム薄膜のサイドエッチングを所望の量に調節することを特徴とするアルミニウム電極のパターニング方法。
IPC (5)：
H01L 21/306
, G02F 1/136 500
, H01L 21/28
, H01L 21/3205
, H01L 29/784
H01L 21/88 C
, H01L 29/78 311 F
