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J-GLOBAL ID：200903032340833079
ウエハキャリア洗浄方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
生形 元重 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992297838
Publication number (International publication number)：1994120186
Application date： Oct. 08, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ウエハキャリアを能率よく自動洗浄する。ウエハキャリアに突き刺さったウエハの破片も除去する。【構成】 キャリアをロボットAでブラシ洗浄装置20に運ぶ。ブラシ洗浄装置20は、キャリアの内外面をブラッシングする。ブラッシングを終えたキャリアをロボットAで超音波洗浄槽30へ運び、超音波が発振された温純水に浸漬する。超音波洗浄を終えたキャリアをロボットAで仕上げ洗浄槽40に運び、純水で仕上げ洗浄する。
Claim (excerpt)：
半導体ウエハの搬送に使用されるキャリアの内面および外面を機械ブラシにより自動洗浄した後、そのキャリアを温純水中に浸漬して超音波洗浄し、更に、純水により仕上げ洗浄することを特徴とするウエハキャリア洗浄方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/04
