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J-GLOBAL ID：200903032360204167
画像復元処理方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993128145
Publication number (International publication number)：1994318250
Application date： Apr. 30, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 SEM画像において、信号歪みを発生しない範囲でS/Nを高めると共に任意の領域については別処理により微小な変化を復元することにより、S/Nが著しく低い対象物表面の微小な変化を良好に復元することを可能とする。【構成】 SEM画像を入力するステップS1、SEM画像をA/D変換するステップS2、画像データを平滑化処理するステップS4、平滑化処理された画像データを加算平均処理するステップS5、S6、加算平均処理後の画像データ上から任意の領域を指定するステップS7、指定された領域の画像について画像強調処理するステップS8、画像強調処理した領域の画像データを平滑化処理および加算平均処理した画像データに組み込むステップS9により、ステップS8で画像強調処理した画像データを平滑化処理と加算平均処理した画像データに組み合わせることにより、ダイナミックレンジが微小な領域の画像を高S/Nで復元する。
Claim (excerpt)：
画像データを平滑化処理する第1のステップと、平滑化処理された画像データを加算平均処理する第2のステップと、加算平均処理後の画像データ上から任意の領域を指定する第3のステップと、指定された領域の画像について画像強調処理する第4のステップと、画像強調処理した領域の画像データを前記第1、第2のステップにおける処理後の画像データに組み込む第5のステップと、を備えることを特徴とする画像復元処理方法。
IPC (5)：
G06F 15/68 350
, G06F 15/68 410
, G06F 15/62 405
, H01J 37/22 502
, H04N 1/40 101
