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J-GLOBAL ID：200903032367277798

高硬度無機質固体材料の鏡面研磨方法

Inventor： 山本 力 ,  吉田 将展
Applicant, Patent owner： 輝化学工業株式会社
Agent (1)： 中尾 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997356525
Publication number (International publication number)：1999188610
Application date： Dec. 25, 1997
Publication date： Jul. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】高硬度無機質固体材料表面に極めて精度の高い鏡面を短い作業時間で形成する。【解決手段】高硬度無機質固体材料の表面を研磨剤及び浸蝕剤を含む研磨液aを用いて粗研磨した後、研磨剤と滑剤と潤滑調整剤とを水または油脂剤に分散、混合してなる研磨液bを用いて仕上研磨する。浸蝕剤としては、研磨速度に合わせて被研磨面を適度に浸蝕する薬剤、例えば硫酸、弗酸、硝酸、燐酸や水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウムを選択して使用する。滑剤としては、雲母、グラファイト、タルク、六方晶系窒化硼素および弗素樹脂の中のいずれか1種または2種以上の微粉が好ましく用いられる。炭化けい素表面の鏡面仕上に好適であり、今後の精密工業分野の学術、産業技術の発展に有用である。

Claim (excerpt)：

高硬度無機質固体材料の表面を研磨剤及び浸蝕剤を含む研磨液aを用いて粗研磨した後、研磨剤と滑剤と潤滑調整剤とを水または油脂剤に分散、混合してなる研磨液bを用いて仕上研磨することを特徴とする高硬度無機質固体材料の鏡面研磨方法。

IPC (3)：

B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14

FI (4)：

B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 F ,  C09K 3/14 550 Z