走査形電子顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998306650
Publication number (International publication number)：2000133191
Application date： Oct. 28, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】複数の記録媒体を有する走査電子顕微鏡において、正確な画像出力領域を効率よく指定して装置の使い勝手を向上する。【解決手段】試料像を記録する外部記録装置の種類に応じて決定される記録領域を、前記表示装置に表示される試料像に重ねて表示する手段を設ける。【効果】任意の出力媒体に対して、出力画像の領域を明確に指定でき、さらに、倍率も必要な画像に対して正確に表示されるため、オペレータの意図する正確な出力視野を効率よく選択し記録することができる。

Claim (excerpt)：

電子源と、当該電子源から放出される一次電子線を照射して得られた二次信号に基づいて試料像を表示する表示装置を備えた走査形電子顕微鏡において、前記試料像を記録する外部記録装置の種類に応じて決定される記録領域を、前記表示装置に表示される試料像に重ねて表示する手段を備えたことを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22

FI (2)：

H01J 37/22 502 B , H01J 37/22 502 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

イオンマイクロビーム装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-020974 Applicant：株式会社日立製作所
透過形電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-219592 Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特開昭58-073949

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