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J-GLOBAL ID：200903032386589938
被検面の曲率半径測定方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
瀧野 秀雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992344031
Publication number (International publication number)：1994194262
Application date： Dec. 24, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 駆動機構のない簡単な構成で被検面の曲率半径を測定できる方法及びその装置を提供することを目的としている。【構成】 光源11の光をコリメータ12で平行ビームにし、電気光学レンズ13によって屈折させて被検面14に照射する。電気光学レンズに印加する電圧を電圧印加手段19で変化させ、被検面14への入射ビームがA点に収束するように照射する。被検面で反射されたビームは入射ビームと重なり、逆行して光源へと戻る。このとき反射ビームの強度がピークになるのを光検知器17の出力から知り、そのときの電気光学レンズの焦点距離を求める。次に、入射ビームが被検面の曲率中心Oに収束するように照射して同様に焦点距離を求め、両焦点距離の差を被検面の曲率半径rとして求める。
Claim (excerpt)：
光源からの平行ビームを電気光学レンズで屈折して被検面に照射し、電気光学レンズに印加する電圧を変化させつつ被検面で反射され入射ビームを逆行して光源へと戻る反射ビームの強度を光検知器で求め、該強度がピークに達することを利用し、前記被検面に照射されたビームが被検面上に収束するときと、被検面の曲率中心に収束するときとの電気光学レンズの焦点距離を求め、両焦点距離の差から被検面の曲率半径を求めることを特徴とする被検面の曲率半径測定方法。
IPC (2)：
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