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J-GLOBAL ID:200903032387832089
静電アクチュエータ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004149107
Publication number (International publication number):2005333722
Application date: May. 19, 2004
Publication date: Dec. 02, 2005
Summary:
【課題】過大な負荷などの外乱要因に対して適切な制御が行えるようにすること。【解決手段】所定ピッチで配置された駆動電極105を有する固定子102と、上記駆動電極105に対向して移動方向に周期的に帯状の負に帯電した帯電領域104を設けたエレクトレットフィルムでなる移動子101と、上記駆動電極105に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動パルス電源と、上記固定子102に対して固定されたセンシング電極106と、上記センシング電極106に接続され、電位変化を検知する電位計測回路とを備え、上記駆動電極105と上記移動子101との間に作用する静電気力によって上記移動子101が変位する静電アクチュエータにおいて、上記駆動パルス電源の駆動信号と上記移動子101の変位に伴い変化する上記電位計測回路の出力信号とを比較する制御回路を更に設ける。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
所定ピッチで配置された駆動電極を有する固定基板と、
上記駆動電極に対向して移動方向に周期的に変化する電位分布を有する移動子と、
上記固定基板の駆動電極に接続され、周期的に出力電圧が変化する多相の駆動電源と、
上記固定基板に対して固定された電位検出電極と、
上記電位検出電極に接続され、電位変化を検知する電位変化検知手段と、
を備え、
上記固定基板の駆動電極と上記移動子との間に作用する静電気力によって上記移動子が変位する静電アクチュエータにおいて、
上記駆動電圧源の駆動信号と、上記移動子の変位に伴い変化する上記電位変化検知手段の出力信号とを比較する比較手段を更に具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
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