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J-GLOBAL ID：200903032390950858

エッチング終点検出方法

Inventor： 三原 智
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 柏谷 昭司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992271328
Publication number (International publication number)：1994120173
Application date： Oct. 09, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体集積回路装置等の製造工程におけるドライエッチング終点検出方法に関し、エッチングの終点を高い精度で検出する方法を提供する。【構成】 導電性材料あるいはその他の材料のドライエッチング工程においてプラズマのインピーダンス、あるいは、プラズマ放電電極の電極間容量の変化によってエッチングの終点を検出する。また、高周波電源21とプラズマ化電極の間に介挿されるマッチング回路中のマッチング条件を自動的に実現する可変容量の容量変化、あるいは、バリコン22の動きによってエッチングが終了する時点を検出する。

Claim (excerpt)：

導電性材料のドライエッチング工程において、プラズマのインピーダンスの変化によってエッチングが終了する時点を検出することを特徴とするエッチング終点検出方法。