Pat
J-GLOBAL ID：200903032395958105
保護誘電層で被覆された格子を有する回折異常センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000510012
Publication number (International publication number)：2001516020
Application date： Aug. 13, 1998
Publication date： Sep. 25, 2001
Summary：
【要約】回折異常格子センサ(50)を用いて試料中の目標物質(140)を光学的に検定する方法と装置に関する。前記光学センサは、このセンサが前記目標物質と相互作用する感度を高めるように少なくとも1つの誘電層(120)で被覆された回折格子(110)を有する。相互作用中、特定の角度で前記センサに入射した光(25)は、前記誘電体の中を伝搬して、零次反射率の低下を示す。本発明の利点は、前記金属格子を変色及び劣化から保護すると共に、感度の向上を容易にする点にある。また、本発明によれば、複数の物質の感度を高めるセンサを構成して、異なる物質を検定するために作業者が検出システムを再配置する必要を無くすこともできる。
Claim (excerpt)：
表面に複数の平行溝(105)を有する基板(100)と、 前記基板の表面から外側に形成された金属層(110)であって、前記基板の溝付表面に実質的に適合する金属層と、 前記金属層から外側に形成された誘電層(120)であって、前記基板の溝に平行な偏光を有する入射光の反射を抑制する誘電層と、を含む、試料中の物質(140)を検定するセンサ(50)。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/55
, G01N 21/21 Z
2G059AA01
, 2G059BB12
, 2G059DD13
, 2G059EE02
, 2G059EE04
, 2G059FF03
, 2G059GG01
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059MM05
