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J-GLOBAL ID：200903032446291623

平面表示装置及びその製造方法

Inventor： 西 部 徹
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 吉武 賢次 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001375888
Publication number (International publication number)：2003179232
Application date： Dec. 10, 2001
Publication date： Jun. 27, 2003
Summary：

【要約】【課題】 信号線への信号電圧の書き込み負荷を減少させ、消費電力を低減させる。【解決手段】 絶縁基板10上に形成されたゲート線41と信号線112との間を絶縁する層として、SiON膜101と比誘電率が2〜3というように低い有機膜102とを形成したことにより、ゲート線41から信号線112に信号電圧を書き込むときの負荷が小さく、消費電力を低減することが可能である。

Claim (excerpt)：

絶縁基板上に形成された2層の導電層の間を絶縁するため、少なくとも第1の絶縁膜と第2の絶縁膜とを備え、前記第1、第2の絶縁膜のうち、少なくともいずれか一方が比誘電率3以下の材料で形成されてることを特徴とする平面表示装置。

IPC (3)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/768 ,  G02F 1/1368

FI (4)：

G02F 1/1368 ,  H01L 29/78 619 A ,  H01L 21/90 S ,  H01L 21/90 V

F-Term (61)：

2H092JA25 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB38 ,  2H092JB57 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA04 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KA22 ,  2H092KB04 ,  2H092KB13 ,  2H092MA07 ,  2H092MA30 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092NA22 ,  2H092NA25 ,  5F033GG03 ,  5F033HH08 ,  5F033HH17 ,  5F033HH21 ,  5F033HH22 ,  5F033KK08 ,  5F033KK17 ,  5F033KK21 ,  5F033KK22 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR08 ,  5F033RR23 ,  5F033RR25 ,  5F033SS22 ,  5F033TT04 ,  5F033VV06 ,  5F033WW09 ,  5F033XX24 ,  5F033XX28 ,  5F110AA09 ,  5F110BB02 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110FF02 ,  5F110FF27 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110HL23 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN06 ,  5F110NN22 ,  5F110NN27 ,  5F110NN28 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110PP03