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J-GLOBAL ID：200903032459947099
全反射測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岩橋 祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992032778
Publication number (International publication number)：1995012717
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：
【要約】【構成】 カセグレン主鏡122及びカセグレン副鏡124を有し、前記副鏡124、主鏡122の順に反射された光を被測定物110上に集光し、反射光を主鏡122、副鏡124の順に反射させて得るカセグレン鏡120と、前記カセグレン副鏡124の下部に配置されたプリズム112と、前記プリズム112をカセグレン副鏡124下方の影部及び被測定物110の被測定面間で移動を可能とするプリズム移動手段160と、を備えたことを特徴とする全反射測定装置。【効果】 プリズム112をカセグレン副鏡124の下方影部に位置させることで、被測定面の鮮明な像での観察が可能となる。
Claim (excerpt)：
カセグレン主鏡及びカセグレン副鏡を有し、前記副鏡、主鏡の順に反射された光を被測定物上に集光し、反射光を主鏡、副鏡の順に反射させて得るカセグレン鏡と、前記カセグレン副鏡の下部に配置されたプリズムと、前記プリズムをカセグレン副鏡下方の影部及び被測定物の被測定面間で移動可能とするプリズム移動手段と、を備えたことを特徴とする全反射測定装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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