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J-GLOBAL ID：200903032467369037

プローブヘッドおよびプローブヘッドの支持機構

Inventor： 鹿濱 茂
Applicant, Patent owner： 株式会社鹿浜製作所
Agent (1)： 桑原 稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994315638
Publication number (International publication number)：1996153761
Application date： Nov. 25, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 極小ピッチで配設される電子部品の複数の電極に対して、高精度で点的に接触するプローブ部を備えると共に、電極とプローブ部との接触状態を容易に把握することができる構造を備えたプローブヘッドの提供。【構成】 電気的検査を必要とする検査対象物Pの電極P’に接するプローブ部11を備えたヘッド10に突き出し稜部10aを備えさせる。プローブ部11は、複数の、かつ、相互に絶縁された導電性突条11bを、検査対象物Pに備えられた複数の電極P’のピッチに略等しいピッチで備えた基板11aにより構成されている。導電性突条11bは、基板11aに接着して備えられた導線性板部に対するエッチング処理により形成されている。プローブ部11は、ヘッド10に対して、各導電性突条11bをヘッド10の突き出し稜部10aを挟む両面10b、10cに亙って折曲状に備えさせるように、備えられている。

Claim (excerpt)：

電気的検査を必要とする検査対象物の電極に接するプローブ部を備えたヘッドであって、該ヘッドは、突き出し稜部を備えていると共に、前記プローブ部は、複数の、かつ、相互に絶縁された導電性突条を、前記検査対象物に備えられた複数の電極のピッチに略等しいピッチで備えた基板により構成されており、該プローブ部が、前記ヘッドに対して、前記各導電性突条を該ヘッドの前記突き出し稜部を挟む両面に亙って折曲状に備えさせるように、備えられていることを特徴とするプローブヘッド。

IPC (5)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28