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J-GLOBAL ID:200903032477314532
エッジ形状決定方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
渡部 敏彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002332108
Publication number (International publication number):2003161609
Application date: Nov. 15, 2002
Publication date: Jun. 06, 2003
Summary:
【要約】【課題】 エッジ形状測定システムの焦点深度に対して被測定物体のエッジ形状が該深度方向に著しく変化しても、高速で効果的にエッジ形状を検出することを可能にする。【解決手段】 3次元空間で物体のエッジ形状をトレースする方法及び装置であり、走査された物体の正確な大きさ測定値を得るために設計されたコンピュータビジョンシステムで利用される。自動トレース測定の間の焦点調整時間を節約するために、多くの画像を収集し、XY台座の特定位置の多数のZ高さ用に保存する。これらの保存された画像を、物理的Z台座動作を要求するよりもむしろ、選択されたXYエリアにおける各エッジポイント試し位置の焦点位置を算出するために後刻使用する。加えて、前のエッジポイントのZ高さに基づくZ高さ補外が、特に形状のZ高さ変化が緩やかで予測できる物体における探索処理の著しいスピードアップを行う。
Claim (excerpt):
ビジョンシステムを作動させ、物体のエッジ形状に沿った複数のエッジポイントのひと組の座標値を決定する方法であって、前記複数のエッジポイントが前記エッジ形状の画像の視野深度よりも大きい深度範囲に亘って延伸するものにおける方法において、少なくとも最後の前回エッジポイント画像における少なくとも最後の前回エッジポイントの座標値を決定する第1のステップと、前記最後の前回エッジポイントのXY位置に少なくとも部分的に基づいて、次回エッジポイントXY試し位置を自動的に決定する第2のステップと、前記次回エッジポイントXY試し位置と以前に獲得されたデータとに基づいて、所望の次回エッジポイント原画像を決定する第3のステップと、前記所望の次回エッジポイント原画像における次回エッジポイントを探索する第4のステップとを有することを特徴とするエッジ形状決定方法。
IPC (2):
G01B 11/24
, G06T 7/60 250
FI (2):
G06T 7/60 250 B
, G01B 11/24 K
F-Term (10):
2F065AA04
, 2F065AA12
, 2F065AA51
, 2F065BB05
, 2F065CC05
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065QQ31
, 5L096FA06
, 5L096GA13
Patent cited by the Patent:
Article cited by the Patent:
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