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J-GLOBAL ID：200903032496845255

位置決めステージ装置、半導体露光装置およびデバイス製造方法

Inventor： 浅野 俊哉
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999237491
Publication number (International publication number)：2001059704
Application date： Aug. 24, 1999
Publication date： Mar. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ステージの移動範囲が大きくなっても、ステージに搭載する位置計測機構を小型軽量化し、かつ高精度のステージ位置計測を可能にする。【解決手段】 第1方向と第2方向に移動可能なステージと、該第1方向の該ステージの変位を計測する第1のレーザ干渉計と、該第1のレーザ干渉計の計測光を反射する、該ステージ上に構成された第1の反射鏡と、該第2方向の該ステージの変位を計測する互いにほぼ平行な光軸を有する複数の第2のレーザ干渉計と、該第2のレーザ干渉計の計測光を反射する、該ステージ上に構成された第2の反射鏡と、該第1のレーザ干渉計の計測値から該ステージの該第1方向の変位を出力し、該複数の第2のレーザ干渉計のうち選択された第2の干渉計の計測値から該ステージの該第2方向の変位を出力する干渉計制御器とを設け、選択する第2のレーザ干渉計を隣接する他の第2のレーザ干渉計に切り換える際の該ステージの該第1方向の変位が、該ステージの該第1方向の移動方向により異ならせる。

Claim (excerpt)：

第1方向と第2方向に移動可能なステージと、該第1方向の該ステージの変位を計測する第1のレーザ干渉計と、該第1のレーザ干渉計の計測光を反射する、該ステージ上に構成された第1の反射鏡と、該第2方向の該ステージの変位を計測する互いにほぼ平行な光軸を有する複数の第2のレーザ干渉計と、該第2のレーザ干渉計の計測光を反射する、該ステージ上に構成された第2の反射鏡と、該第1のレーザ干渉計の計測値から該ステージの該第1方向の変位を出力し、該複数の第2のレーザ干渉計のうち選択された第2の干渉計の計測値から該ステージの該第2方向の変位を出力する干渉計制御器とを有し、選択する第2のレーザ干渉計を隣接する他の第2のレーザ干渉計に切り換える際の該ステージの該第1方向の変位が、該ステージの該第1方向の移動方向により異なることを特徴とする位置決めステージ装置。

IPC (5)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027 ,  B23Q 17/24

FI (5)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  G03F 7/22 H ,  B23Q 17/24 Z ,  H01L 21/30 515 G

F-Term (40)：

2F064AA02 ,  2F064AA06 ,  2F064BB01 ,  2F064CC10 ,  2F064DD05 ,  2F064DD08 ,  2F064GG12 ,  2F064KK04 ,  2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA37 ,  2F065CC00 ,  2F065DD02 ,  2F065DD14 ,  2F065EE00 ,  2F065EE05 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG13 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL12 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ51 ,  3C029AA40 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DC12