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J-GLOBAL ID：200903032507121190

自重支持装置

Inventor： 伊藤 博仁 ,  堆 浩太郎
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996073121
Publication number (International publication number)：1997239628
Application date： Mar. 05, 1996
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ベースへの搭載物のベースの挙動に対する変位を、極めて高い追従性で補償する。【解決手段】 被駆動体1を、ベース200より重力方向に移動する駆動手段300、被駆動体の自重を支持する支持手段400、駆動手段近傍におけるベースに対する被駆動体の重力方向変位を検出する検出手段105、および検出手段で検出された値に基づき被駆動体の重力方向の位置を制御する制御手段24,25を備えている自重支持装置において、ベースの重力方向の加速度信号100を検出し、前記加速度信号に、変換係数を乗算した値を前記制御手段にフィードバックする。

Claim (excerpt)：

被駆動体を基盤より重力方向に移動する駆動手段、被駆動体の自重を支持する支持手段、駆動手段近傍における基盤に対する被駆動体の重力方向変位を検出する検出手段、および該検出手段で検出された変位の値に基づき被駆動体の重力方向の位置を制御する制御手段を備えている自重支持装置において、基盤の重力方向の加速度信号を検出する手段を設け、検出された加速度信号に変換係数を乗算した値を前記変位の値とともに前記制御手段にフィードバックすることを特徴とする自重支持装置。

IPC (3)：

B23Q 1/25 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4)：

B23Q 1/14 C ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G