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J-GLOBAL ID：200903032533910968

静電チャック

Inventor： 後藤 覚
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992064122
Publication number (International publication number)：1993267436
Application date： Mar. 19, 1992
Publication date： Oct. 15, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は,半導体基板を吸着する静電チャックの構造に関し,ゴミ等の異物による吸着不良を解消することを目的とする。【構成】 半導体基板1を静電力により吸着する静電チャック2の表面が突起面3により構成されているように,また,前記静電チャック2表面の前記突起面3が複数の錐状または柱状突起であるように,さらに,前記静電チャック2表面の突起面3凹部に不活性ガスを流す配管を有するように構成する。

Claim (excerpt)：

半導体基板(1) を静電力により吸着する静電チャック(2) の表面が突起面(3) により構成されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302